中國環境報見習記(ji)者 丁波 記(ji)者 蔡新(xin)華 上海被賦予打造集成(cheng)電(dian)路產(chan)業高地的(de)重(zhong)大(da)任(ren)務，隨著產(chan)業規模(mo)逐步擴(kuo)大(da)，廢(fei)酸(suan)環境無(wu)害化(hua)處置成(cheng)為突(tu)出問(wen)題。據(ju)了(le)解，上海通過 “點(dian)對點(dian)”資源化(hua)定向再利(li)用創新(xin)模(mo)式(shi)已破解這一難題。

　　日(ri)前(qian)，一輛掛(gua)有危險標識的(de)罐裝運(yun)輸車(che)(che)穩穩駛(shi)入廠區，公(gong)司(si)專(zhuan)職管理員(yuan)引導車(che)(che)輛，過磅、取樣、檢驗、聯單(dan)簽收……一系列流程(cheng)后(hou)，車(che)(che)被(bei)(bei)引導至專(zhuan)用卸車(che)(che)區，車(che)(che)上的(de)特殊液體被(bei)(bei)接(jie)收到公(gong)司(si)的(de)原(yuan)料儲料罐中(zhong)，等待用于(yu)后(hou)續的(de)生(sheng)產。

　　這(zhe)是記者(zhe)在位(wei)于(yu)金山第二工業區內(nei)的(de)上(shang)海澎博鈦白粉有限(xian)公司(si)(以下簡稱澎博公司(si))看到(dao)的(de)場景(jing)。罐裝(zhuang)車內(nei)裝(zhuang)運的(de)是液體(ti)硫(liu)酸，它的(de)特殊性在于(yu)是上(shang)游集成(cheng)電路芯(xin)片生產企業使用過的(de)廢棄硫(liu)酸。

　　在現場(chang)，公(gong)司(si)負(fu)責(ze)人何文龍告訴記(ji)者(zhe)，公(gong)司(si)是上海市(shi)集成電路(lu)芯(xin)片(pian)行業產生(sheng)的廢硫酸(suan)資源化利(li)(li)用(yong)定點單位，每天安排專(zhuan)用(yong)車輛將(jiang)廢酸(suan)運回(hui)工廠，經過(guo)嚴格(ge)的檢驗流程后再投入到鈦白粉生(sheng)產當中，今年1月(yue)-7月(yue)已處置利(li)(li)用(yong)廢酸(suan)1.5萬(wan)噸。

　　新(xin)模(mo)式解決行業發展難題

　　據(ju)上(shang)海市生態環(huan)境(jing)局(ju)相關(guan)負責人介紹，上(shang)海首創的廢硫酸“點對點”資(zi)源化定(ding)向再利用模式運用逐步成熟，目前(qian)已經(jing)全(quan)部(bu)覆(fu)蓋了(le)上(shang)海具備回收(shou)廢酸條件(jian)的集成電(dian)路芯片(pian)(pian)制(zhi)造企業(ye)，總(zong)體上(shang)穩定(ding)地解(jie)決了(le)上(shang)海集成電(dian)路芯片(pian)(pian)制(zhi)造企業(ye)廢硫酸處置問題。

　　據上(shang)海市集成電路行(xing)業(ye)協會(hui)相關負(fu)責(ze)人介(jie)紹，集成電路產業(ye)生產過(guo)程中會(hui)使用大(da)量(liang)濃硫酸，排(pai)放以(yi)硫酸物質為(wei)主，處理廢硫酸成本很(hen)高，同時會(hui)存在一定的(de)生態環境安全風險(xian)。這個(ge)問題成為(wei)阻礙行(xing)業(ye)發展的(de)難題。

　　直(zhi)面(mian)痛點(dian)。在上海市(shi)經濟和(he)信息化委、上海市(shi)生態環境局等相關部門的支(zhi)持下，上海市(shi)固體廢物和(he)化學品管理技術中(zhong)心、上海市(shi)集(ji)成電路行業協會積極探索，多(duo)(duo)次召開(kai)專家研討(tao)會論證(zheng)處置方案(an)，并于2016年開(kai)始由中(zhong)芯(xin)國際和(he)澎(peng)博公司開(kai)展(zhan)廢硫酸“點(dian)對點(dian)”資源化定向再利(li)用(yong)試點(dian)運行，經過多(duo)(duo)輪試點(dian)驗證(zheng)，最(zui)終形成較為成熟的經驗。

　　去年，上海市集(ji)成電路行業協會(hui)會(hui)同多部門(men)專門(men)編寫形成了(le)《鈦白粉用(yong)集(ji)成電路制(zhi)造行業廢硫酸(suan)(suan)》(T/SICA001-2020)團體標準(zhun)，在(zai)上海市質(zhi)量技術監(jian)督部門(men)網站和國家(jia)標準(zhun)網上進行公示，全力保障廢酸(suan)(suan)源頭質(zhi)量的把控(kong)。

　　多維度再利(li)用效(xiao)益明顯

　　廢(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)(suan)“點對點”資源化(hua)(hua)定向再利(li)用(yong)，這(zhe)一新模(mo)(mo)式(shi)的(de)(de)環境(jing)效(xiao)益(yi)、經濟效(xiao)益(yi)和社會(hui)效(xiao)益(yi)都很(hen)顯著。相關專家告(gao)訴記者，模(mo)(mo)式(shi)的(de)(de)核心是實(shi)現(xian)集成電路制(zhi)造過程中產生的(de)(de)廢(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)(suan)替(ti)代鈦白粉生產工藝過程中用(yong)到的(de)(de)工業硫(liu)(liu)酸(suan)(suan)。經過試點驗證(zheng)，這(zhe)種模(mo)(mo)式(shi)技術(shu)可行性(xing)很(hen)強，廢(fei)酸(suan)(suan)再利(li)用(yong)單位在使用(yong)廢(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)(suan)生產鈦白粉時，不需要調整(zheng)現(xian)有工藝。同時，替(ti)用(yong)過程不增加額(e)外(wai)的(de)(de)環境(jing)負擔與(yu)風險，不影響產品(pin)的(de)(de)質量(liang)，符合(he)“固體(ti)廢(fei)物減(jian)量(liang)化(hua)(hua)、資源化(hua)(hua)和無害化(hua)(hua)”原則。

　　談到經濟(ji)效益(yi)，這位專(zhuan)家(jia)給記者算了一筆賬：澎博(bo)公司再利(li)用(yong)廢硫酸每噸收(shou)費(fei)500元，按照上(shang)海市往年廢硫酸處置費(fei)每噸2000元計算，今年1月(yue)至7月(yue)，澎博(bo)公司累計利(li)用(yong)廢硫酸1.5萬(wan)噸，集成(cheng)電路生產企業(ye)可節(jie)約2250萬(wan)元。同時，澎博(bo)公司也節(jie)省了購置工業(ye)濃硫酸的費(fei)用(yong)，產廢企業(ye)和再利(li)用(yong)企業(ye)達到了“雙(shuang)贏”。

　　此外，新模式還符合循環經濟產(chan)業需(xu)求，不僅(jin)解決了廢(fei)硫酸處(chu)(chu)置(zhi)出路(lu)難(nan)、處(chu)(chu)置(zhi)費(fei)用高的難(nan)題，降低了企業生(sheng)(sheng)產(chan)成本和(he)廢(fei)硫酸處(chu)(chu)理費(fei)用，還促(cu)進了鈦白粉生(sheng)(sheng)產(chan)單(dan)位的升(sheng)級改造、精(jing)準轉型(xing)和(he)綠色發展，為(wei)日后集成電路(lu)產(chan)業的蓬勃發展鋪平了道路(lu)。

　　深入(ru)推進“點(dian)對點(dian)”資(zi)源(yuan)化再利用

　　“在(zai)探索推行這一新模式的(de)過程(cheng)中，我們以(yi)守好環境底線為前提(ti)，做到嚴格把關(guan)，按程(cheng)序(xu)推進。”上(shang)海市(shi)生(sheng)態環境局相關(guan)負責人介紹，在(zai)前期提(ti)出(chu)設想并加以(yi)論證(zheng)的(de)基礎上(shang)，他們于(yu)2016年發文，同意(yi)將中芯國際(ji)和(he)澎博公司設立為上(shang)海市(shi)首個廢硫(liu)酸定向(xiang)再(zai)利用試(shi)點(dian)單位(wei)，利用芯片廢硫(liu)酸生(sheng)產(chan)鈦白粉。

　　2019年11月，上(shang)海(hai)市生(sheng)態環(huan)境局(ju)同意4家企業(ye)廢硫(liu)酸(suan)定(ding)(ding)向資源化再利用備案(an)。2020年10月，上(shang)海(hai)市生(sheng)態環(huan)境局(ju)擴大(da)廢硫(liu)酸(suan)定(ding)(ding)向資源化再利用備案(an)，新增4家企業(ye)，全面覆蓋上(shang)海(hai)市具(ju)備回(hui)收廢酸(suan)條件的集成電路制(zhi)造企業(ye)。

　　據介紹，目前(qian)，各方進(jin)展(zhan)順利(li)，各試點企業在嚴格(ge)執行危險廢物(wu)各項管理制度下，廢硫(liu)酸源(yuan)頭品質得到保障(zhang)，并委托具有相(xiang)關(guan)運輸資質的單(dan)位專人專車進(jin)行運輸。澎(peng)博公司在廢酸使用(yong)期間(jian)，生產(chan)(chan)運行穩定，各項污染物(wu)排(pai)(pai)放(fang)環保指(zhi)標(biao)檢測均符合(he)排(pai)(pai)放(fang)標(biao)準。同時，澎(peng)博公司對生產(chan)(chan)設備工藝(yi)進(jin)行優(you)化改造，在末(mo)端形(xing)成(cheng)了可滿足(zu)近(jin)期集成(cheng)電(dian)路產(chan)(chan)業發展(zhan)需求的每(mei)年6萬噸廢硫(liu)酸利(li)用(yong)能力。

　　“十四(si)五”期間，上(shang)海的集成(cheng)電路產量(liang)(liang)將(jiang)(jiang)快速增長，需(xu)處置的廢硫酸(suan)量(liang)(liang)也(ye)將(jiang)(jiang)隨之增加。據(ju)最新(xin)統(tong)計，2020年(nian)產生(sheng)廢酸(suan)1.25萬噸，2021年(nian)預計為(wei)2.8萬噸，到(dao)2022年(nian)上(shang)海芯(xin)片企業產生(sheng)的廢硫酸(suan)將(jiang)(jiang)高達(da)6萬噸，2025年(nian)將(jiang)(jiang)達(da)到(dao)10萬噸以(yi)上(shang)。

　　面(mian)對這一形(xing)勢，上(shang)(shang)海(hai)各相(xiang)關(guan)部門(men)召開會議制定(ding)(ding)了(le)“提前謀劃改(gai)造，形(xing)成需(xu)求匹配、長(chang)久穩定(ding)(ding)”的廢硫酸利用原則。上(shang)(shang)海(hai)市(shi)發改(gai)委、上(shang)(shang)海(hai)市(shi)經濟和信(xin)息(xi)化(hua)委還專門(men)組織專家隊伍到資源化(hua)綜合利用企業(ye)澎博公(gong)司開展現(xian)場調研，了(le)解(jie)情況，聽取企業(ye)和行業(ye)專家的意見和建議。

　　作(zuo)為廢(fei)酸(suan)(suan)再利用定點(dian)企業，澎博(bo)公(gong)司(si)也啟動了匹配(pei)廢(fei)酸(suan)(suan)資(zi)源化(hua)利用技改規劃，積極響(xiang)應上級部門對澎博(bo)公(gong)司(si)以廢(fei)定產、提前謀劃的要求(qiu)，規劃“集成電路行業10萬噸廢(fei)酸(suan)(suan)資(zi)源化(hua)利用”技改。

　　在上海(hai)(hai)市人(ren)民(min)政(zheng)府近日(ri)印發(fa)的《上海(hai)(hai)市2021-2023年生(sheng)態(tai)環境(jing)保(bao)護和建設三年行動》文件(jian)上，記者也注(zhu)意到相關條(tiao)文：在環境(jing)可控的前提下，持續推動集成(cheng)電路行業廢酸等危險廢物(wu)“點對(dui)點”定向資源化(hua)利用工作，形成(cheng)穩(wen)定的與集成(cheng)電路行業未(wei)來(lai)發(fa)展相適(shi)應(ying)的廢酸處置利用能力。

　　據悉，未來，這種(zhong)廢(fei)棄(qi)硫酸(suan)“點對(dui)點”資源化定向再(zai)利(li)用(yong)模式，將有力保障我(wo)國集成電路行(xing)業(ye)(ye)的發展，也(ye)將對(dui)其他(ta)行(xing)業(ye)(ye)的危險廢(fei)物(wu)綜合利(li)用(yong)起(qi)到借(jie)鑒和引領(ling)作用(yong)。

來源：中(zhong)國環境(jing)報